特征

紅外透射膜厚監(jiān)測儀可測量電池隔膜等半透明片材、黑色抗蝕劑等低反射膜、硅片等的厚度。這是一款紅外吸收式薄膜測厚儀，可用于從實驗室水平到生產(chǎn)過程中100%在線檢測的所有情況。
這是一種紅外薄膜測厚儀，采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng)，可通過 100 多個波長的光譜同時精確測量薄膜厚度、密度和成分等多個參數(shù)。

1. 
   

• 1

• 測量半透明片、低反射膜、硅等
  的厚度，這是使用光學(xué)干涉測量法難以做到的。

2. 
   

• 2

• 小型光纖探頭

  通過使用小型30mm反射探頭，
  可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線內(nèi)的狹小空間內(nèi)。另外，探頭
  與主體僅通過光纖
  連接，因此具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。

3. 
   

• 3

• 高速測量100多個點同時采樣
  950至1650 nm的近紅外波長
  

  可以實現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
  可在生產(chǎn)線上進行實時檢測和測量。
  由于不會旋轉(zhuǎn)干涉濾光片等，因此具有出色的耐用性和可靠性。

4. 
   

• 4

• 厚度測量重復(fù)性0.1%以下（3σ）

5. 
   

• 5

• 兩種可選的測量算法

  測量算法	校準(zhǔn)樣品	測量目標(biāo)
  蘭伯特-比爾法	1 種	僅厚度
  最小二乘回歸法	2種以上	多重（厚度、密度、特定成分的混合量等）

測量示例（鋰離子電池隔膜）

測量示例（硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚）

作品