池田屋USHIO牛尾 UV-LED MULTI平行光UV照射裝置 

池田屋USHIO牛尾 UV-LED MULTI平行光UV照射裝置 

 “LED多用途平行光單元"是采用USHIO專有的LED光學技術(shù)制成的平行光源，

可以控制I、H和G各線的照明和調(diào)光。我們將為各種應(yīng)用中

使用 LED 燈的新工藝的研究和開發(fā)做出巨大貢獻。

高照度　　

　利用Ushio專有的模塊設(shè)計技術(shù)，它充分利用了LED的亮度。

　uLML是燈型多燈：達到與500W型產(chǎn)品相當?shù)牧炼取?/span>

?均勻性高

　該模塊的光學設(shè)計技術(shù)采用疊加多個*放置的LED燈的光學系統(tǒng)， 　最大限度地減少　　

　對照射表面均勻性的影響，即使LED存在個體差異或在其壽命結(jié)束時隨時間變化也特別成功。

?高可用性

　可對 I 線、H 線、G 線各波長進行調(diào)光。

   與燈法不同，無需濾光片即可改變光譜強度分布。

   此外，通過充分利用10-100%的光控制范圍，使用 的配方實現(xiàn)曝光。

?低TCO節(jié)能

   曝光不是通過快門控制的，而是通過打開/關(guān)閉 LED 來控制的。

   通過僅在暴露工件時照明，顯著減少了操作期間的照明時間，延長了光源的壽命。

   此外，運行期間產(chǎn)生的熱量也顯著減少。